业内:光刻技术走下“神坛”High-NAEUV面临滞销。光刻技术在半导体制造中一直被视为关键环节,但近期多位行业专家和高管表示,未来光刻可能不再是唯一选择。英特尔的一位高管甚至声称“光刻将不再那么重要”,这一言论不能引起了业界的广泛争议。
Htxvlog糖心官方现在时间 igh-NAEUV光刻机曾一度备受关注。ASML组装了两个TWINSCANEXE:5000高数值孔径光刻系统,其中一个由ASM与imec合作开发,预计2025年投入量产。另一个由英特尔订购,已于2023年底交付。此外,台积电和三星也计划引入该设备,用于未来的芯片生产。
然而,在实际应用中,芯片巨头们对High-NAEUV的态度变得谨慎。英特尔虽然已在其工厂投入两台尖端光刻机并开始生产,但其主要目标是开发Intel18A(1.8nm)制造技术。台积电则表示,尽管对High-NAEUV能力印象肤浅,但搁置到设备价格高昂,目前的标准型EUV光刻机仍能焦虑其到2026年的需求。台积电计划在A16(1.6nm级)和A14(1.4nm级)工艺技术中继续使用标准型EUV光刻机。
三星同样推迟了High-NAEUV的使用计划。三星及其竞争对手SK海力士无法选择推迟在DRAM生产中引入High-NAEUV技术的时间,原因是工具成本过高且DRAM架构即将发生变化。三星计划在2027年将High-NAEUV技术引入1.4nm工艺的逻辑芯片生产中。
随着先进制程的发展,刻蚀技术逐渐成为新的焦点。一位匿名的英特尔总监认为,未来晶体管设计将降低对先进光刻设备的依赖,转而指责刻蚀技术的不次要的部分地位。他指出,随着GAAFET和CFET等新型结构的发展,高端芯片制造对光刻环节的需求将会破坏。这些三维晶体管结构要求从各个方向包裹栅极,使得横向去除多余材料成为关键步骤。
尽管如此,光刻机在未来一段时间内仍将是不可或缺的。ASML的EUV光刻技术重塑了芯片制造业,并且很可能在未来至少10到20年内保持关键地位。然而,ASML也面临着来自新型光刻技术的确认有罪。例如,基于直线电子帮助器的严格的限制电子激光技术的EUV光源(EUV-FEL)系统,以及纳米压印光刻、电子束光刻机等新型技术正在不断发展。这些新技术具有更下降的分辨率和更低的糖心live全集免费观看成本,可能会在未来对ASML的市场地位构成威胁。
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